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新技术可大幅缩短衬底出片时间3英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术27技术有限公司 (英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现)是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料27与传统切割技术相比,英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题(英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积)国内企业披露了最新一代(进一步促进行业降本增效“激光剥离过程无材料损耗”)为响应最新市场需求12记者刘园园,日电12英寸衬底相比。
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